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仕様：
・測定用レーザー光源:半導体レーザ(685 nm, 0.45 mW)
・試料ステージストローク:70 mm(x,y)、28 mm(Z)
・高さ測定範囲:7
mm
・高さ方向最小測定分解能:0.01 μm
・高さ方向繰り返し測定精度:0.03 μm
付属品：
・パソコン
・モニター
・キーボード
※その他一式
販売価格：720,000円(税抜,送料別途)

販売価格：410,000円(税抜)

販売価格：350,000円(税抜)

販売価格：90,000円(税抜)

販売価格：398,000円(税抜)